為了適應市場需求，實現(xiàn)微細軸、微細孔、陣列孔、微三維結(jié)構(gòu)的高品質(zhì)、高精度和高效率制造，超微細數(shù)控電火花加工機床正在研制中，該機床可應用于生物醫(yī)學、電子通訊、MEMS等領域的微器件/微模具領域。 主要技術特點和創(chuàng)新點 1）精密旋轉(zhuǎn)進給蠕動復合功能主軸 2）微細電極在線制作的緊湊型線電極放電磨削機構(gòu) 3）高頻微小能量脈沖放電電源 4）切向進給線電極放電磨削方法在線制作微細電極 5）創(chuàng)新的三維微細電火花伺服掃描加工工藝 6）微三維結(jié)構(gòu)深度精度控制算法 7）三維微結(jié)構(gòu)精密電火花加工機床的系統(tǒng)集成